產品介紹:
全自動在線式藍寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態測試儀為精密部件的制造商提供了業界領先的表面形態測量。通過非接觸式光學測量技術記錄下整個表面的數據。它能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型和其他表面參數進行全面測量。
產品特點：
■ 全自動在線全面檢測
■無接觸和無損傷測量
■ 適用多種類型材料：半導體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片：硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面
■ 測量多種不同指標：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統：
三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實現自動、快速、準確、穩定的測量
■ 超過15年的工業應用，全球幾百臺的裝機量
技術參數：
■ 精確度：50nm （2.0μ″）
■ 重復性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可測量工件尺寸：25mm-200mm
■ 動態測量范圍：>100um
■ 測量數據點：230,000 / measurement
■ 測量時間：5秒
■ 電源：～220V 50Hz
典型客戶:
國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，Freiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
國內：賽維，重慶四聯，中電46所，山東大學，大連理工大學，中國科學院半導體所，中國科學院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍晶，青島嘉星晶電，天科合達，大慶佳昌……
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