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硅芯電阻率測試儀

原生多晶電阻率測試儀 


產品介紹:

合能陽光硅芯電阻率測試儀(HS-SFRT),是一款高端測量圓柱晶體硅電阻率測試儀器,可測量硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等,由于儀器大大消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度大大提高,量程實現了電阻率從10-4歐姆 . 厘米到10+4歐姆.厘米(可擴展)的測試范圍。因此儀器具有測量精度高、穩定性好、測量范圍廣、結構緊湊、使用方便等特點。是 西門子法、硅烷法等工藝生產原生多晶硅料的企業 、 物理提純生產多晶硅料生產企業、光伏及 半導體材料廠、器件廠、科研部門、高等院校以及需要超大量程測試電阻率測試的企業的最佳幫手。



硅芯電阻率測試儀-產品特點

適合檢測硅芯,檢磷棒,檢硼棒,籽晶等圓柱晶體硅
適用于西門子法、硅烷法等工藝生產原生多晶硅料的企業
適用于物理提純生產多晶硅料生產企業
適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導體器件企業
適用于科研部門、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業
儀器消除了珀爾帖效應、塞貝克效應、少子注入效應等負效應的影響,因此測試精度大大提高
測量精度高,除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能
獨特的設計能有效消除測量引線和接觸電阻產生的誤差,   實現了測量的高精度和極寬的量程范圍
雙數字表結構使測量更精確,操作更簡便
具有強大的測試數據查詢及打印功能
測量系統可實現自動換向測量、求平均值、最大值、最小值、平均百分變化率等
四探針頭采用進口紅寶石軸套導向結構,使探針的游移率減小,測量重復性大大提高
采用進口元器件,留有更大的安全系數,大大提高了測試儀的可靠性和使用壽命
測量電流采用高度穩定的特制恒流源(萬分之五精度),不受氣候條件的影響
具有正測反測的功能,保證測試結果的準確性
具有抗強磁場和抗高頻設備的性能


硅芯電阻率測試儀-推薦工作條件

溫度:23±2℃
濕度:≤65%
無較強的電場干擾,電源隔離濾波,無強光直接照射


硅芯電阻率測試儀-技術指標

可測電阻率范圍: 5 × 10-5 — 5 × 1 0+5 Ω· cm (可擴展)
測量精度<3%
AC 220V ± 10% 50/60 Hz 功率: 12W



硅芯電阻率測試儀-典型用戶

北京,浙江,四川,河北,河南等地的硅料生產企業及半導體光伏拉晶客戶


 

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