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硅材料碳氧含量測試儀


 

 

 

產品特點:
適合于硅材料的氧、碳含量的測定;
可實現硅料中氧碳含量自動、快速、準確的測量;
具備完整的譜圖采集、光譜轉換、光譜處理、光譜分析及輸出功能,使得操作更簡單、方便、靈活。
全密封防潮、防塵干涉儀的設計使儀器對環境的適應能力更強。
外置式紅外光源部件的設計使得儀器具有更高的熱學穩定性,無須動態調整就具有穩定的干涉度。
高強度紅外光源采用球形反射裝置,可獲得均勻、穩定的紅外輻射。
程控增益放大電路、高精度A/D轉換電路的設計及嵌入式微機的應用,提高了儀器的精度及可靠性;
光譜儀與計算機間通過USB方式進行控制和數據通訊,完全實現即插即用。
通用微機系統,全中文應用軟件界面友好、內容豐富。
專用樣品固定架;
高穩定性和抗震性;
保質期:12個月。

 

 

 




技術參數:
檢測下限:1.0X1016cm-3(常溫);
檢測硅料硅片厚度范圍為:0.1~3.5mm;
波數范圍:7800cm-1~400cm-1
分辨率:優于0.5 cm-1
波數精度:±0.01 cm-1
CZ-Si(直拉硅)中氧含量精密度為±10%。
FZ-Si(區熔硅)中氧含量精密度為±20%,檢測下限為1×1016 cm-3 。符合“硅晶體中間隙氧含量的紅外吸收測量方法”國家標準(GB/T 1557-89)的要求。
掃描速度:0.2~2.5 cm/s,微機控制,選擇不同的掃描速度,檔次連續可調。
信噪比:優于15,000:1(RMS值,在2100 cm-1 處,4 cm-1分辨率,DTGS探測器,1分鐘數據采集。)
分數器:KBr基片鍍鍺
  探測器:標準配置DTGS,任選MCT
光源:高強度空氣冷卻紅外光源

 




數據系統:
通用微機,連接噴墨或激光打印機,可輸出高質量的光譜圖。
軟件:全新中文MainFTOS軟件:Windows9X/2000/XP操作系統下的通用操作軟件系統。包括譜庫檢索軟件、定量分析軟件、譜圖輸出軟件及專用紅外譜庫。

 




儀器尺寸:
光學臺: 63*52*24cm

 




電源:
交流:220V/50HZ
功率:1000VA

 




主要客戶:
錦州陽光能源、江蘇天源、峨眉739、河北晶龍集團、無錫尚德、天津環歐等


 

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