產(chǎn)品介紹:
藍(lán)寶石及碳化硅晶片平坦度及表面形態(tài)測(cè)試儀為精密部件的制造商提供了業(yè)界領(lǐng)先的表面形態(tài)測(cè)量。通過非接觸式光學(xué)測(cè)量技術(shù)記錄下整個(gè)表面的數(shù)據(jù)。它能夠快速和準(zhǔn)確地對(duì)各種表面的平面度、線型和其他表面參數(shù)進(jìn)行測(cè)量。
產(chǎn)品特點(diǎn)：
■ 無接觸和無損傷測(cè)量
■ 適用多種類型材料：半導(dǎo)體，金屬，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料
■ 適用多種類型晶片：硅/藍(lán)寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
■ 適用多種類型表面：研磨表面，拋光面，超光滑面
■ 測(cè)量多種不同指標(biāo)：
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
■ 完整的分析系統(tǒng)：
三維/拓?fù)?合格率/分布/二維環(huán)形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
■ 可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)、快速、準(zhǔn)確、穩(wěn)定的測(cè)量
■ 超過15年的工業(yè)應(yīng)用，全球幾百臺(tái)的裝機(jī)量
技術(shù)參數(shù)：
■ 精確度：50nm （2.0μ″）
■ 重復(fù)性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）
■ 分辨率：5nm （0.2μ″）
■ 可測(cè)量工件尺寸：25mm-200mm
■ 動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍：>100um
■ 測(cè)量數(shù)據(jù)點(diǎn)：230,000 / measurement
■ 測(cè)量時(shí)間：5秒
■ 電源：～220V 50Hz
典型客戶:
國外：Honeywell Electronic Materials，SEI，Showa Denko，SESMI，Saint Gobain，Nikko Materials，Hitachi Cable，F(xiàn)reiberger Compound Materials，Crystal Tech，Samsung，LG，Crystalwise，Wafer Works……
國內(nèi)：賽維，重慶四聯(lián)，中電46所，山東大學(xué)，大連理工大學(xué)，中國科學(xué)院半導(dǎo)體所，中國科學(xué)院物理所，中科晶電，中科鎵英，云南藍(lán)晶，青島嘉星晶電，天科合達(dá)，大慶佳昌……
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